色多多污污黄对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整台设备的处理效果都有重要影响，所以选择合适的色多多污污黄是对一台真空等离子清洗机的品质至关重要。真空等离子清洗机上常用的色多多污污黄分为两种，分别是油式色多多污污黄和干式色多多污污黄。今天色多多导航就来介绍一下等离子清洗机上所用到的色多多污污黄种类和各自特点，以及选择色多多污污黄时的注意点。

1.油式色多多污污黄

油式色多多污污黄是通过油来密封，润滑，降温的色多多污污黄的统称。在真空等离子清洗机上的一种油式色多多污污黄就是旋片式色多多污污黄。

①旋片式色多多污污黄

旋片式色多多污污黄是一种油封式机械色多多污污黄，其主要的部件有泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等。旋片式色多多污污黄有单级和双级两种，等离子清洗机常用的是双级旋片式色多多污污黄，所谓双级旋片式色多多污污黄就是在结构上将两个单级泵串联起来。

旋片式色多多污污黄的泵腔内偏心地装有一个转子，而转子的外圆与泵腔的内表面相切，同时转子槽内装有两个带弹簧的旋片。转子旋转时，靠离心力和弹簧的弹力使旋片顶端与泵腔体内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片式色多多污污黄利用两个旋片将泵腔体分为3个部分，因为转子是偏心安装的，所以被分成的3个部分的空间会随着转子旋转而变化，利用压强差来达到抽气的目的。

旋片式色多多污污黄在真空等离子清洗机上大多数用在小型腔体（80L以下）或者作为色多多污污黄组的前级泵。

旋片式色多多污污黄具有以下这些优点：

第一，旋片式色多多污污黄在抽除腔体内的干燥气体的同时，也能抽除一定量的可凝性气体和气水混合物；

第二，结构相对简单，维护保养起来方便；

第三，体积小、重量较轻，便于安装移动；

第四，振动微小，噪音低；

第五，价钱相对低一些等。

2.干式色多多污污黄

干式色多多污污黄是无油干式机械色多多污污黄的简称。干式色多多污污黄是不用油、水或其它聚合物等流体充当工作介质的一种色多多污污黄。这样使得干式色多多污污黄在洁净度方面更好，防止了油污染，所以干式色多多污污黄大多用在对洁净度要求比较高的真空等离子清洗机上，比如说半导体领域、生物医疗领域以及航天航空领域等。在真空等离子清洗机上常用的一种干式色多多污污黄就是干式螺杆色多多污污黄。

①干式螺杆色多多污污黄

干式螺杆色多多污污黄是利用一对螺杆，在色多多污污黄壳中作同步高速反向旋转，从而产生作用力来实现吸气和排气功能的色多多污污黄。因为干式螺杆色多多污污黄在工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，所以在工作腔无需润滑油。干式螺杆色多多污污黄是一款性能优秀的干式色多多污污黄，具有许多比其他色多多污污黄好的地方：

第一，干式螺杆色多多污污黄的极限真空度很高，最高极限真空可达到1-2Pa；

第二，干式螺杆色多多污污黄性能稳定，噪音低，故障率低，维护简单；

第三，干式螺杆色多多污污黄的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适应恶劣工况。